河北首台套生产金刚石高端装备在围场下线

河北日报客户端讯（记者陈宝云）5月30日，我省(wǒshěng)首台套金刚石微波等离子体(děnglízǐtǐ)化学气相沉积（MPCVD）高端装备在(zài)围场满族蒙古族自治县下线。

据了解，传统金刚石制备(zhìbèi)技术长期依赖进口装备，成本(chéngběn)高、工艺受限。由河北投实晶铠科技(kējì)有限公司自主研发的MPCVD高端装备通过优化微波等离子体参数，将金刚石单晶沉积速率提升，达到国际领先水平(lǐngxiānshuǐpíng)。

“我们依托围场富集的绿电资源，采用绿电耦合技术(jìshù)，设备(shèbèi)综合能耗降低40%，可生产(shēngchǎn)出(chū)纯度达99.999%的高品质金刚石，满足半导体级应用(yìngyòng)需求。装备可连续作业2000小时无故障，为规模化生产奠定基础，真正实现了技术自主可控和‘绿电造绿钻’零碳闭环生产，实现经济效益与环境效益双赢。”河北投实晶铠科技有限公司技术总监吴伟庆(wúwěiqìng)说。

金刚石(jīngāngshí)作为半导体终极材料，具有硬度高、耐腐蚀性强、导热性(dǎorèxìng)能优异等特性。“全球金刚石装备市场正在以年均25%增速扩张，而传统工业制造面临纯度低和(hé)能耗高等技术短板，MPCVD技术恰好破解了这些难题。”承德凯捷新能源(xīnnéngyuán)科技有限公司总经理申伟东说，凯捷公司决定(juédìng)与投实晶铠公司深度合作，利用园区资源优势，实现绿电高效利用，绿色(lǜsè)材料反哺，绿色能源价值跃升。

围场作为“国家(guójiā)首批绿色能源(néngyuán)示范县”，清洁能源并网总量已达748.81万千瓦。近年来，围场积极布局金刚石产业，通过(tōngguò)精准招引与深度合作，对接清华大学(qīnghuádàxué)等(děng)知名院所，着力打造“钒锂电池+氢能利用+装备制造”特色产业，因地制宜培育新质生产力(shēngchǎnlì)，聚焦MPCVD设备及高端金刚石制造领域，创新(chuàngxīn)提出“点石成金”“阳光制绿氢”“绿电造绿钻”等新能源消纳特色方案，将清洁电力与玄武岩加工、光敏半导体耦合制氢、半导体级金刚石制备等产业深度融合，实现资源(zīyuán)就地转化，推动产业集群化、高端化发展。